Atomlageravsättning, ALD
Tillverkningsmetod Ytbeläggning där ett arbetsstycke sekventiellt ytbeläggas med hjälp av två olika gaser i en uppvärmd vakuumbehållare.
Du är här
Kemisk ångavsättning, CVD
Plasmaassisterad ångavsättning, PACVD
Tillverkningsmetod Ytbeläggning där ett arbetsstycke sekventiellt ytbeläggas med hjälp av två olika gaser i en uppvärmd vakuumbehållare assisterad av plasma.